先進封裝良率守護者:AOM 光學量測新賽道
原始標題 · 542.【達人聊產業】先進封裝良率守護者!AOM 遍尋晶圓 defect ft. 倍利科黃建中總經理
作為全球先進封裝與先進製程的絕對龍頭,其 CoWoS 與 SOIC 擴產速度直接決定了製程控制與光學檢測設備廠的訂單動能。隨著後段製程精密地步提升,每站製程控制的設備滲透率將持續增加。台積電在先進封裝標準的制定,也間接確立了國產檢測設備的規格話語權。
先進封裝結構複雜且造價高昂,傳統出貨抽檢已不足以確保良率。AOM 設備能進行製程中檢驗,有效解決異質材料堆疊造成的翹曲與微觀缺陷。
公司避開國際大廠主導的成熟 AOI 市場,轉攻當時規模較小、日廠割據的製程中檢驗(IPQC)領域,並透過長年與一線客戶合作,積累深厚的技術防護與專利。
晶圓因熱膨脹係數差異會產生翹曲,影響光學檢測的對焦。AOM 需透過精密真空吸嘴將晶片吸平,在矽光子等特殊結構下,對夾取機構挑戰尤大。